Автоматизированная станция по обнаружению дефектов на кремниевых подложках WI-6500

Общее описание

Станция WI-6500 предназначен для автоматической проверки дефектов на поверхности подложки. Она оснащена системой машинного зрения, автоматической системой погрузки и выгрузки, а также программным обеспечением для управления. Система способна проводить инспекцию дефектов до 25 подложек единовременно; обнаруживать дефекты, определять их количество и точную позицию на поверхности подложки, а также извлекать изображения и создавать карту дефектов. Результаты анализа сохраняются в базе данных системы, что позволяет операторам и инженерам анализировать дефекты продукции постфактум. Ключевые особенности: Минимальный детектируемый дефект: 0.5мкм Совместимые размеры подложек: 6 дюймов (15.24 см), 8 дюймов (20.32 см) (другие размеры по запросу) Автоматическая загрузка и выгрузка, максимальный объем теста на партию: 25 шт. Захват изображения автофокусом и многоуровневой фокусировкой Автоматический контроль Анализ дефектов, создание картографического отчета АО «ЛЛС» предлагает наиболее выгодные условия поставки продукции и полную техническую поддержку. Получить дополнительную информацию вы можете, обратившись в нашу компанию.

Применение

• Производство полупроводников: обнаружение дефектов на кремниевых подложках перед производством;
• Электроника: контроль качества и отбраковка дефектных подложек в процессе производства компонентов;
• Научные исследования: изучение структур и свойств материалов на микроуровне с высокой точностью;
• Качество продукции: мониторинг и анализ дефектов для улучшения качества конечных изделий;
• Инновационные технологии: поддержка разработки новых материалов и процессов с минимизацией дефектов;