Активная пневматическая система виброизоляции серии DVIA-P

Общее описание

Серия DVIA-P - это передовые активные пневматические системы виброизоляции, использующие пневматические клапанные сервоприводы для контроля низкочастотных вибраций и стабилизации полупроводникового метрологического оборудования со сверхточными моторизованными линейными этапами. Серия DVIA-P включает в себя чрезвычайно чувствительные датчики и мощные пневматические сервоприводы, создающие огромную силу для противодействия входящим вибрациям от пола здания и обеспечивающие сверхбыстрое время установления для получения изображений с наноразрешением без каких-либо помех. Ключевые особенности: 40 - 70% виброизоляции при 2 Гц по всем 6 степеням свободы разработан для метрологии полупроводниковых приборов точность позиционирования 10 мкм мощные пневматические приводы для поддержки устройств с движущейся платформой интеллектуальная система управления настройка на месте для достижения желаемого качества алгоритм управления с обратной и прямой связью активная виброизоляция по всем шести степеням свободы Парт-номер DVIA-P1000 DVIA-P2200 DVIA-P4000 DVIA-P7000 DVIA-P10000 DVIA-P20000 DVIA-P30000 Габариты изолятора 240 x 240 x 110 мм 350 x 350 x 110 мм 420 x 420 x 110 мм 450 x 450 x 120 мм 450 x 450 x 120 мм 645 x 600 x 284 мм 735 x 700 x 284 мм Грузоподъемность 500 - 1700 кг 1100 - 3700 кг 2100 - 7000 кг 3600 - 12000 кг 5000 - 17000 кг 11000 - 38000 кг 15000 - 50000 кг Максимальное усилие привода по вертикали: 25000 Н, по горизонтали: 300 Н по вертикали: 36260 Н, по горизонтали: 588 Н по вертикали: 68600 Н, по горизонтали: 2646 Н по вертикали: 117600 Н, по горизонтали: 4410 Н по вертикали: 167580 Н, по горизонтали: 8330 Н по вертикали: 372400 Н, по горизонтали: 11760 Н по вертикали: 490000 Н, по горизонтали: 11760 Н АО «ЛЛС» является дистрибьютором компании DAEIL SYSTEMS на территории РФ и стран СНГ и предлагает наиболее выгодные условия поставки продукции и полную техническую поддержку. Получить дополнительную информацию вы можете, обратившись в нашу компанию.

Применение

• CD-SEM
• Восстановление фотомаски
• Качественная проверка фотомасок
• Автоматизированный АСМ комплекс
• Выравниватель масок
• Рентгеновская метрология
• Рентгеновский контроль дефектов
• Система электронно-лучевой литографии
• Бесконтактная 3D-метрология поверхности
• Метрология толщины тонкого слоя