
Сканирующий пьезотранслятор
Общее описание
Пьезотранслятор идеально подходит для плавного перемещения оптических элементов или зонда с нанометровым разрешением в системах с открытым и замкнутым контуром. Подвижная центральная часть закреплена на гибких пружинах и приводится в действие пьезоприводами для обеспечения высокой жесткости и стабильности работы. Конструкция пьезотранслятора обеспечивает отличную линейность и плоскостность движения, в отличие от классических сканеров на основе пьезоэлектрических трубок, где поверхность сканирования является сферой. Кроме того, плоскопараллельные сканеры имеют более высокую механическую прочность по сравнению с хрупкими пьезоэлектрическими трубками. Сканирующий пьезотранслятор оснащен емкостными датчиками перемещения для цифрового управления с обратной связью. Он обеспечивает высокую точность и линейность движения и устраняет эффект ползучести, свойственный пьезокерамике. Измерения емкостей производятся с технологией TDC (преобразование временных интервалов в код), где вся измерительная электроника расположена как можно ближе к датчикам. Такая конструкция приводит к малошумному и высокоскоростному регулированию смещения. Для управления пьезотранслятором используются универсальные контроллеры, а также программное обеспечение NSpec. Область применения для пьезотранслятора включает: сканирующую зондовую микроскопию (например, атомно-силовая микроскопия), нанопозиционирование, метрологию, биологию, микроэлектронику, микроманипуляции и т. д. Ключевые особенности: Технология датчиков с удвоенной емкостью для обратной связи Диапазон перемещения в горизонтальном направлении до 200 мкм Диапазон перемещения в вертикальном направлении до 20 мкм Сверхвысокое разрешение 0,1 нм Бюджетный Компактный дизайн и малый вес Подходит для универсальных применений Высокая жесткость Компенсированный эффект ползучести пьезокерамики Устойчивость к помехам на низких частотах Идеально подходит для микроскопического применения Версия для работы в вакууме АО «ЛЛС» предлагает наиболее выгодные условия поставки продукции, полную техническую поддержку. Получить дополнительную информацию вы можете, обратившись в нашу компанию.
