Пьезопозиционирующий гексапод

В наличии на складе (СПб)

По запросу

Общее описание

H60 Piezo Hexapod представляет собой пьезо-платформу с 6-осевым движением θx, θy, θz, X, Y и Z. 6-осевое движение в пространстве реализуется за счет скоординированного расширения и сжатия шести пьезоактюаторов. Модель с обратной связью имеет высокую точность позиционирования. Он подходит для таких применений, как прецизионная обработка микроэлектроники, испытания и т. д. Отличительные особенности: Перемещение по осям θX, θY, θZ, X, Y и Z Датчики обратной связи (режим Closed-loop) Отсутствие накопления ошибок

Применение

Полупроводниковое оборудование
Литография
Контроль и микрообработка пластин
Медицинское оборудование
Аэрокосмическая отрасль