Высокопроизводительное оборудование для литографии прямого письма без маски UV-Ultra

Общее описание

UV-Ultra – это высокопроизводительное оборудование для безмасочной УФ-литографии, предназначенное для высокотехнологичного и промышленного применения. Он использует передовые сверхвысокоскоростные методы обработки в сочетании с запатентованными алгоритмами и высокопроизводительным оборудованием для достижения более высокой точности выравнивания, сшивания и наложения. Благодаря высокой скорости записи и высокому разрешению он подходит для быстрой и точной обработки. UV-Ultra имеет интегрированную конструкцию и полностью автоматическое управление, что обеспечивает простоту эксплуатации и совместимость с материалами размером до 12 дюймов. Широко используется в таких областях, как микрофлюидика, полупроводники, биотехнологии и микроэлектроника. Особенности: Подходит для крупномасштабного производства и промышленного применения Предлагает несколько режимов обработки от нанометров до десятков микрометров, обеспечивая более высокую точность и скорость обработки Быстрый и простой процесс выравнивания для достижения обработки 2D/2,5D микронаноструктур Функция предварительного просмотра рисунка и компенсация ошибок выравнивания Автоматическое выравнивание поверхности и автофокусировка, обеспечивающая единообразие обработки Расширенные возможности расширения за счет дополнительных модульных аксессуаров и услуг быстрого обновления Бесконечное поле для письма без сшивания Полностью автоматическая система визуального управления процессом, а также графический язык и язык редактирования процессов, повышающие гибкость управления оборудованием Более высокая точность выравнивания, сшивания и наложения Система долгосрочного контроля стабильности, обеспечивающая стабильность и последовательность обработки Увеличенная зона обработки, подходящая для подложек разных размеров, с автоматическим вакуумным зажимом для образцов Экспозиция в оттенках серого

Применение

• Корпусирование
• Микро-нано оптика
• Микрофлюидика
• МЭМС
• Фотомаски
• Полупроводниковые приборы