Промышленная система безмасочной лазерной литографии TRS-Ultra

Общее описание

TRS-Ultra – это высокопроизводительная система безмасочной УФ литографии для высокотехнологических применений. Она задействует продвинутые высокоскоростные методы обработки, комбинированные с запатентованными алгоритмами и аппаратным обеспечением для достижения точной центровки и точности обработки. Система предлагает интегрированную конструкцию и полностью автоматизированную работу с обработкой подложек до 12 дюймов. Применима для таких областей как микрофлюидика, полупроводниковое производство, биотехнологии и микроэлектроника. Ключевые особенности: отлично подходит для крупномасштабных промышленных применений; предлагает несколько режимов обработки от нанометров до десятков микрометров; система центровки позволяет проводить 2D/2.5D микро- и наноструктурирование; наличие системы автоматического выравнивания поверхности и ошибки выравнивания; модульное исполнение позволяет проводить апгрейд системы; бесшовная прямая лазерная запись; полностью автоматический контроль процессинга; наличие системы долгосрочного контроля стабильности излучения; наличие вакуумного прижима; Grayscale экспозиция. АО «ЛЛС» предлагает наиболее выгодные условия поставки продукции, полную техническую поддержку. Получить дополнительную информацию вы можете, обратившись в нашу компанию.

Применение

• быстрая обработка и моделирование;
• микро/нано оптика;
• микрофлюидные чипы;
• микроэлектроника;
• фотомаски;
• полупроводник.