Настольная система безмасочной ультрафиолетовой литографии TRS-Smart

Общее описание

TRS-Smart специально разработана для лабораторных исследований, не требующих масштабного производства. Система обладает высокими скоростями обработки, разрешением и точностью центровки. Установка предлагает высокоинтегрированную конструкцию и полностью автоматизированную работу, позволяющую быстро обрабатывать небольшие партии заготовок. Широко используется в таких областях как микрофлюидика, полупроводниковое производство, биотехнологии и микроэлектроника. Ключевые особенности: быстрый и простой процесс центровки для достижения 2D/2.5D микро- и наноструктурирования; возможна работа в нескольких режимах обработки, включая Grayscale экспозицию; функция предпросмотра паттерна и компенсации ошибки центровки; автоматическое выравнивание поверхности и автофокусировка; полностью автоматизированная система; адаптивность к различным подложкам с вакуумной платформой, подходящей для различных размеров и форм подложек. АО «ЛЛС» предлагает наиболее выгодные условия поставки продукции и полную техническую поддержку. Получить дополнительную информацию вы можете, обратившись в нашу компанию.

Применение

• микрофлюидика;
• полупроводниковое производство;
• биотехнологии;
• микроэлектроника.