
Многофункциональная
Многофункциональная система прямой записи Microlab
В наличии на складе (СПб)
По запросу
Общее описание
Microlab – это многофункциональная система прямой записи для создания микро- и наноструктур. Оборудование подходит для научно-исследовательских задач и мелкосерийного производства, обеспечивая высокую гибкость при работе с различными типами подложек. Ключевые особенности Различные варианты источников: 405 нм LED, 405 нм LD, 355 нм DPSS Поддержка подложек размером от 4 до 6 дюймов (опционально до 8 дюймов) Пространственный модулятор света (DMD) с высокой частотой обновления для безмасочной записи Автофокусировка 3D-литография, интерференционная литография, поляризационная литография Многорежимное экспонирование (сканирование, пошаговое экспонирование) Многозадачная автоматическая работа Поддержка форматов файлов: GDSII, BMP, STL и другие
Применение
- Микро-нано оптика
- Фотонные интегральные схемы (оптические волноводы, кольцевые резонаторы, решетки)
- МЭМС (микроэлектромеханические системы)
- Полупроводниковые приборы
- Корпусирование компонентов
- Печатные платы
- Голография и защита от подделок
- Биомедицина
- Научные исследования
