Интеллектуальное оборудование для безмасочной литографии UV-Smart

В наличии на складе (СПб)

По запросу

Общее описание

UV-Smart специально разработан для нужд лабораторных исследований и мелкосерийного производства. Его компактный дизайн хорошо подходит для лабораторных условий и отличается высокой скоростью письма, высоким разрешением и высокой точностью выравнивания. Благодаря интегрированной конструкции и полностью автоматическому управлению он обеспечивает простоту эксплуатации и подходит для быстрого прототипирования или мелкосерийного производства. Широко используется в таких областях, как микрофлюидика, полупроводники, биотехнологии и микроэлектроника. Особенности: Быстрый и простой процесс выравнивания для достижения обработки 2D/2,5D микронаноструктур Высокая гибкость благодаря переключению между несколькими режимами обработки одним щелчком мыши, включая дополнительную экспозицию в оттенках серого. Функция предварительного просмотра шаблона и компенсация ошибок выравнивания Автоматическое выравнивание поверхности и автофокусировка для последовательной обработки. Полностью автоматизированная система визуального контроля с графическим языком программирования, значительно повышающая гибкость и автономность управления оборудованием. Адаптируемость к различным материалам за счет вакуумной всасывающей платформы, подходящей для материалов разных размеров и форм.

Применение

Корпусирование
Микро-нано оптика
Микрофлюидика
МЭМС
Фотомаски
Полупроводниковые приборы