Эффективная гибридная установка литографии MiScan

В наличии на складе (СПб)

По запросу

Общее описание

MiScan – это эффективная гибридная установка прямой записи, сочетающая высокую производительность и точность. Оборудование поддерживает работу с подложками до 12 дюймов (стандарт), оснащено высокомощными источниками излучения и системой высокоточного позиционирования. Подходит для научных исследований и промышленного применения. Ключевые особенности Высокомощные источники: 405 нм LD, 355 нм DPSS (срок службы >20 000 часов) Стандартная модель поддерживает подложки до 12 дюймов (возможно изготовление под заказ) Многомерная литография: поляризационная экспозиция, интерференционная экспозиция, поддержка 1024 уровней серого Высокоточная платформа позиционирования Высокоточная система контроля окружающей среды Автофокусировка и совмещение в реальном времени Зональное позиционирование, экспонирование нескольких подложек, многозадачное экспонирование Поддержка автоматического и ручного совмещения Поддержка форматов файлов: GDSII, BMP, STL и другие

Применение

Микро-нано оптика
Фотонные интегральные схемы (оптические волноводы, кольцевые резонаторы, решетки)
МЭМС (микроэлектромеханические системы)
Полупроводниковые приборы
Корпусирование компонентов
Печатные платы
Голография и защита от подделок
Биомедицина
Научные исследования